Ứng dụng của các thành phần vonfram và Molypden trong cấy ghép ion bán dẫn
Cấy ion đề cập đến hiện tượng khi một chùm ion trong chân không bắn vào vật liệu rắn, nó sẽ bị vật liệu rắn cản trở và tốc độ của nó giảm dần và cuối cùng nó vẫn ở trong vật liệu rắn. Trong giai đoạn này, một loạt các tương tác vật lý và hóa học sẽ xảy ra giữa chùm ion và các nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu. Các ion tới dần dần mất năng lượng và cuối cùng ở lại trong vật liệu, gây ra những thay đổi về thành phần, cấu trúc và hiệu suất bề mặt của vật liệu, từ đó tối ưu hóa hiệu suất bề mặt của vật liệu hoặc thu được một số hiệu suất tuyệt vời mới.
Công nghệ cấy ion bán dẫn là công nghệ biến đổi bề mặt vật liệu công nghệ cao. Nó đã được sử dụng rộng rãi trong pha tạp vật liệu bán dẫn, biến đổi bề mặt kim loại, gốm sứ, polyme, v.v.
Cấy ion, là một công nghệ pha tạp quan trọng trong công nghệ vi điện tử, đóng vai trò then chốt trong việc tối ưu hóa hiệu suất bề mặt của vật liệu. Trong quá trình sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn hiện nay, có thể nói nó là một phương tiện không thể thiếu.
Quá trình cấy ion có yêu cầu rất cao về hiệu suất nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn hóa học của vật liệu. Vì vậy, thành phần chính của buồng ion hóa được làm từ vonfram, molypden hoặc than chì.
Công ty TNHH Vật liệu Nghiên cứu Kim loại hiếm Luoyang chủ yếu sản xuất các bộ phận hỗ trợ cho máy cấy ion và sản phẩm chính của công ty là các thành phần nguồn ion năng lượng cao cấy ion bán dẫn được làm bằng vật liệu vonfram và molypden.
Các sản phẩm vonfram và molypden dành cho máy cấy ion của chúng tôi có độ tinh khiết cao ổn định và đặc tính cơ học tốt đảm bảo phù hợp để xử lý các bộ phận buồng hồ quang có hình dạng phức tạp.
